진공장치
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작성일 22-11-03 10:07
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티타늄 금속박막이 활성인 가스분자를 흡착하는 과정은 이온펌프와 마찬가지다.
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다.
게터(getter)펌프는 티타늄이나 지르코늄등 활성인 금속 혹은 합금을 초고진공 중에서 가열,증발시켜 진공펌프용기 내면에 부착시키면, 신선한 활성 금속 박막이 활성인 가스분자를 흡착, 즉 배기하는 것이다. 티타늄 박막을 만들기 위해서 이온펌프에서는 페닝 방전으로 계속 스퍼터링 시키기 때문에 계속해서 배기작용을 갖도록 할 수 있지만 게터펌프에서는 티타늄의 단속적인 가열 증발에 의해 박막을 만들기 때문에 흡착이 포화 되면 배기 작용이 저하된다
이 흡착에의한 포화는 압…(skip)
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