[소재공정實驗] 박막工學 - PVD 와 CVD에 관해
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작성일 23-01-25 22:38
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3. 충돌된 기체상태의 금속원자가 기판에 증착됨.
원리 및 종류 그리고 특징
부피대비 표면적 비율이 높은 막을 의미하며 ㎚ ~ ㎛ 단위를 지닌다.
원리 및 종류 그리고 특징 원리 및 종류 그리고 특징
1. 증착 하려는 source material을 도가니에 넣고 가열.
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원리 및 종류 그리고 특징
설명
[소재공정實驗] 박막工學 - PVD 와 CVD에 관해
물질의 표면으로부터 떨어져 나오는 원자를 증착.
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기체 상태에서 계속 가열하면, 이온핵과 자유전자로 이루어진 입자들의 집합체가 만들어지는데 이를 Plasma라 하며 전기적으로 중성상태를 지닌다. 또한 고체, 액체, 기체와 더불어 제 4의 물질상태 라고도 불리기도 한다.
2. Source material이 기체상태가 되어 기판의 표면에 충돌.
높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해 target이라 불리는
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